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LED產(chǎn)業(yè)從材料設備、外延片生長芯片制造到封裝及應用的整個產(chǎn)業(yè)鏈中，設備再一次成為制約行業(yè)發(fā)展的薄弱環(huán)節(jié)。業(yè)內(nèi)專家表示，中國LED產(chǎn)業(yè)要想健康快速發(fā)展，一定要在關鍵設備、原材料上下工夫。 上游關鍵設備還需要依靠進口
·LED生產(chǎn)設備種類繁多
·關鍵設備幾乎完全依賴進口
據(jù)介紹，在LED生產(chǎn)過程中需要很多設備，從藍寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設備，到MOCVD（金屬有機化合物化學氣相淀積）、退火爐等設備，再到與芯片工藝相類似的設備，如光刻機、刻蝕機、清洗機、蒸發(fā)鍍膜等，最后到封裝用的固晶機、金絲/鋁絲球焊機、分選機等等，種類繁多。其中，MOCVD、等離子刻蝕機等技術含量很高的設備，國內(nèi)生產(chǎn)線全部依靠進口。只有少數(shù)幾種設備實現(xiàn)了國產(chǎn)化，如中電科技集團第45所研制的單線切割機、多功能粘片機、全自動焊線機、分光機、砂輪劃片機、激光劃切機等，都已經(jīng)在用戶生產(chǎn)線上使用。
中電科技集團第48所研發(fā)中心副部長胡曉宇在接受采訪時表示，受國內(nèi)設備制造業(yè)整體水平低的限制，再加上進口設備的擠壓以及國外設備專利技術的封鎖，國產(chǎn)LED設備（其中包括一部分IC芯片制造設備）整體水平落后，基本上處于實驗室水平，在設備產(chǎn)能、工藝水平、一致性、均勻性和可靠性方面與國際先進水平相比還存在極大的差距。他表示，近年來國內(nèi)相關研究單位對LED生產(chǎn)設備進行了一些嘗試，在技術上取得了一些突破，如單晶爐、研磨拋光機等，但大都沒有在生產(chǎn)線上使用。因此，國產(chǎn)LED設備要進入大生產(chǎn)線還有很長的路要走。
“LED產(chǎn)業(yè)鏈中最關鍵的上游設備，國內(nèi)完全是空白，還需要進口，如MOCVD外延設備主要來自美國、德國和英國。在中游，生產(chǎn)芯片的設備現(xiàn)在有些企業(yè)已經(jīng)可以做了，如刻蝕機，使用的效果還可以，但同國外設備相比還有不小的差距�！本芄怆姡ń鳎┯邢薰靖笨偛猛趺粽f。
業(yè)內(nèi)人士表示，LED設備在研制過程中大都遇到了成本問題，設備的零部件大都選用進口產(chǎn)品，而設備的售價卻遠低于國外設備，這使得設備的利潤率很低�！澳壳按笮偷腖ED企業(yè)都享有國家設備進口免稅政策，這對我們自己研發(fā)設備是非常不利的�！敝须娍萍技瘓F第45所市場部副主任王海明說。
設備開發(fā)和工藝應緊密結合
·完全克隆光伏設備做法行不通
·圍繞工藝開發(fā)才能適應需求
國產(chǎn)設備已經(jīng)在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上發(fā)揮了很大的作用，國產(chǎn)LED設備是否也能彌補LED產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的一環(huán)？胡曉宇表示，LED產(chǎn)業(yè)與太陽能產(chǎn)業(yè)有許多相同點，但也有很大的區(qū)別，國產(chǎn)LED設備如果完全克隆光伏設備的做法肯定是行不通的。在所有的光伏設備中，并沒有哪一種設備像MOCVD一樣，在整個LED生產(chǎn)設備投資中占如此大的比重。國產(chǎn)LED設備廠商必須從MOCVD設備開始取得突破，才能逐步向前道和后道工藝設備不斷擴展，最終實現(xiàn)整個產(chǎn)業(yè)鏈的全部設備國產(chǎn)化。
MOCVD設備的技術門檻很高，需要克服很多困難，投入大量的人力、物力、財力，整合各種優(yōu)勢資源，但這并非是不可逾越的。
中國專用設備行業(yè)協(xié)會秘書長金存忠說，LED不像光伏設備，它對技術和工藝的要求更高。目前國內(nèi)許多設備制造商力量薄弱，研發(fā)水平較低、關鍵零部件的生產(chǎn)工藝控制較差等問題造成國產(chǎn)設備的穩(wěn)定性和可靠性還達不到要求，導致國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)即使花大價錢也要買國外的設備。因此，國產(chǎn)設備要想在LED產(chǎn)業(yè)大發(fā)展過程中有所作為，一定要在穩(wěn)定性和一致性上做好文章。
王海明表示，在LED生產(chǎn)中，前道工藝需要突破MOCVD,該設備是芯片制造的關鍵設備，該設備長期依賴進口，單臺價格在3000萬元左右，長期以來制約著我國LED芯片制造的發(fā)展；后道封裝設備中高速全自動金線鍵合機的需求量較大，國內(nèi)還無法批量提供設備。
王敏表示，MOCVD不是不可逾越，國內(nèi)是能夠做出來的，但是要做到高水平比較困難，現(xiàn)階段還沒有這個能力。他強調(diào)，MOCVD生產(chǎn)設備可以引進國外的技術，如果完全依靠自己研發(fā)會比較慢。
LED發(fā)展到今天，制約其大面積推廣的因素還是上游的裝備業(yè)的發(fā)展水平，有數(shù)據(jù)顯示，現(xiàn)在LED裝備業(yè)的折舊占了成本的1/3.因此，如果大部分LED設備能夠實現(xiàn)國產(chǎn)化，才有可能使LED生產(chǎn)成本大幅下降，讓LED走入千家萬戶。
王敏表示，國產(chǎn)設備之所以沒上大生產(chǎn)線，跟國內(nèi)裝備業(yè)總體水平比較低有關系。我國裝備業(yè)基礎一直比較薄弱，即使現(xiàn)在LED應用如火如荼，上游的材料和裝備仍沒受到應有的重視，目前仍沒有很有實力的大企業(yè)對其進行攻關。此外，國家也應該集中財力對裝備業(yè)進行支持，設立專項。同時，國家要有具體的獎勵措施，鼓勵使用國產(chǎn)設備�！斑�有一點必須強調(diào)，設備實際上是工藝的固化，設備企業(yè)應該和生產(chǎn)企業(yè)聯(lián)合開發(fā)，這樣做能比較快地解決其與工藝脫節(jié)的問題�！蓖趺粽f。
事實上，專業(yè)人士早就指出，設備是工藝物化的產(chǎn)物，只有緊緊圍繞生產(chǎn)工藝開發(fā)成本低廉、穩(wěn)定性高的設備才能適應生產(chǎn)線的需求，才能在實踐中得到提升和改進，最終結合自己的工藝技術開發(fā)更先進的設備。胡曉宇表示，工藝是以設備為根本和載體，而設備是以工藝為目標，脫離工藝的設備就如同人沒有了靈魂�！拔宜奶柲茈姵厣a(chǎn)設備就是通過與工藝的緊密結合才發(fā)展到今天的大好局面�！彼f。
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